EddyCus TF inline在線電阻率監測系統

EddyCus TF inline在線電阻率監測系統一款適合薄膜電阻率在線監測，動態檢測產品質量，實時測量產線上薄膜面電阻（方塊電阻）及薄膜厚度測量的解決方案。

特點

非接觸與實時測量準確測量高度可變性和靈活性在真空內-和真空外的解決方案固定傳感器和穿越式解決方案單線和多線解決方案高達每秒1000次的高采樣率

參數

薄膜電阻（歐姆/平方）
金屬層厚度（nm、μm）
金屬基板厚度（μm）
各向異性
缺陷
完整性評定
 

應用
建筑玻璃（LowE）
觸摸屏和平板顯示器
OLED和LED應用
智能玻璃的應用
透明防靜電鋁箔
光伏
半導體
除冰和加熱應用
電池和燃料電池
包裝材料

材料
金屬薄膜和柵格
導電氧化物
納米線膜
石墨烯、CNT（碳納米管）、石墨
打印薄膜
導電聚合物（PEDOT:PSS）
其他導電薄膜及材料

規格參數
薄膜電阻測量技術：非接觸式渦流傳感器
基板：例如：薄膜、玻璃、晶圓，等等
測量間隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
傳感器對數 / 監控線數：1 - 99
傳感器尺寸 (W x L x H)：
M 型傳感器：80 x 100 x 66 mm
S 型傳感器：34 x 48 x 117 mm
導電層：金屬/ TCOs/ CNTs/ 納米線/ 石墨烯/ 柵格/ PEDOT/其它

薄膜電阻的范圍：
低      0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
標準    0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
高      10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精度
金屬膜的厚度測量（例如：鋁、銀、鉬、銀漿）：2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)
其它集成的測量：金屬厚度/光透明性/密度/電性各向異性
環境：在真空外/在真空內 @ T < 60°C / 140°F (根據要求 <90°C / 194°F)
采樣率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測量每秒
硬件觸發：5, 12, 24 V
界面：UDP、DOT Net libraries、TCP、Modbus、模擬/數字