EddyCus® TF系列電阻率、面電阻測量儀
EddyCus® TF系列電阻率、面電阻測量儀是一款適合實驗室研發或成品檢測使用的面阻及膜厚實時測量儀器。其應用領域廣泛，不僅適用于玻璃、硅、塑料基板上的導電性薄膜的面電阻和厚度的測量，同時也適用于多種單層膜材料厚度的實時測量。根據傳感器之間距離的不同，EddyCus TF lab可滿足不同的測試需求，傳感器標準距離為10mm，大距離可至60mm。
應用領域：
·薄膜面電阻的測量
·薄膜厚度的測量
·導電性基板厚度的測量
·與電阻相關的其他參數的測量
技術特點：
·非接觸式實時測量
·可實現對幾乎所有平面樣品的測量
·測量傳感器與樣品之間的距離及測量 點的大小可調
·掃頻范圍可達256個頻率點
·薄膜厚度測量精度至納米量級
·操作簡單，軟件功能豐富
技術指標 | EddyCus® TF lab-1 | EddyCus® TF lab-2 | |
傳感器之間距離 | 10mm | up to 60 mm possible | |
厚度測量 范圍 | 高導電率材料 (大于 10 MS/m) | 5 nm – 50 µm | 5 nm – 100 µm |
低導電率材料 (小于 10 MS/m) | 10 nm – 1 mm | 10 nm – 250 µm | |
面阻測量范圍 | 0,01 – 1000 ?/sq | ||
導電率范圍 | 1– 67 MS/m | ||
薄膜厚度測量精度 | ± 10% from <20 nm | ||
面電阻測量精度 (e.g. TCO) | ± 2,5% from 0,01 – 20 ?/sq | ||
傳感器 | 可根據不同應用要求配置合適的傳感器 | ||
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