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碳化硅，是一種無機物，化學式為SiC，是用石英砂、

石油焦（或煤焦）、木屑（生產綠色碳化硅時需要加食鹽）

等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見的礦物，

莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技術耐火原料中，

碳化硅為應用、經濟的一種，可以稱為金鋼砂或耐火砂

碳化硅陶瓷具有優良的常溫力學性能，如高強度、

高硬度、高彈性模量等，的高溫穩定性，如高導熱系數、

低熱膨脹系數等，以及良好的比剛度和光學加工性能，

特別適合用于制備光刻機等 集成電路裝備用陶瓷結構件，

如用于光刻機中的運動工件臺、骨架、吸盤、水冷板以及精

密測量反射鏡、光柵等陶瓷結構件等，方泰新材經過多年的技術攻關

，解決了大尺寸、薄壁、中空等復雜結構碳化硅結構件的加工制備難題，

突破了該類碳化硅結構件制備技術的技術瓶頸，

推進了集成電路制造裝備用關鍵結構件的國產化。

１、碳化硅陶瓷主要包含無壓燒結碳化硅(SSiC)、反應燒結碳化硅（RBSC）、化學氣相沉積碳化硅（CVD-SiC）

２、碳化硅具有各種的性能：超硬 高熱導率和機械強度、 低熱膨脹系數、 的熱穩定性、低密度、高比剛度、無磁性。

３、目前在航空、航天、核工業等各個行業均有碳化硅陶瓷的應用，如碳化硅陶瓷反射鏡，IC集成電路制造等裝備用陶瓷部件，條件下的熱交換器、材料等。