直徑高達2.4毫米的集成MEMS振鏡是單片制造的，作為無萬向節執行器設備結構的集成部分。它們是硅芯片的中心區域，與周圍的靜電致動器共享相同的微細加工步驟。這些鏡子由相同的可用硅層構成，具有幾乎平坦和光滑的硅表面。在四個側面，鏡子連接到提供兩軸運動的雙軸連桿。自2016年以來，我們不斷庫存具有以下直徑的集成反射鏡的設備：0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有庫存的集成反射鏡都涂有純鋁，可在非常寬的波長范圍內提供高反射率。金金屬化可以在晶圓規模上進行，因此可用于更大的生產訂單。

鏡子尺寸：0.8毫米、1.2毫米、1.6毫米、2.0毫米和2.4毫米直徑庫存。

點對點驅動下的傾斜角：-6°至+6°機械每個軸，因設計類型而異。

共振驅動下的傾角：-7°至+7°機械

單軸選項：大多數設計都可以提供純單軸運動。

表面粗糙度：<10 nm rms

驅動方法：靜電驅動，使用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驅動器

鏡面曲率半徑：>5 m

鏡面涂層：鋁或金

位置重復性：室溫下優于0.001°（1毫度）

工作溫度：MEMS Mirror工作溫度：-40°C至125°C（具體產品規格取決于封裝）

光學窗口：抗反射涂層熔融石英窗口。可拆卸的。

A型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm雙面增透膜，AOI 22.5°

B型：熔融石英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm雙面增透膜，AOI 22.5°

C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm雙面增透膜，AOI 22.5°

*客戶特定波長和AOI可用于100件以上的數量。

光功率處理：高達2W任何鏡子，任何波長。2W以上取決于反射鏡尺寸、鍍膜和波長。例如。3W CW藍色或綠色在2毫米或更大的鏡子上。

共振旋轉頻率：對于小鏡子尺寸的兩個軸>3 kHz，對于2.0mm尺寸的>1.2kHz等。

傾斜角是模擬的，而不是開關

這是不能用于任意方向光束控制的數字微鏡元件的關鍵區別。換句話說，如果需要6.15°的傾斜角，只需施加正確的電壓，即可獲得該角度（或任何其他角度）并將其保持任何時間長度，而功耗幾乎為零。

點對點掃描

這些設備針對點對點光束掃描操作模式進行了設計和優化。穩態模擬驅動電壓導致微鏡的穩態模擬旋轉角。電壓和角度之間存在一一對應的高度可重復性。還提供了許多諧振型掃描MEMS反射鏡設計，用于視頻投影和高速成像，例如48000行/秒。

動態模式掃描

設備還可以在動態、諧振模式下運行。在這種模式下，接近共振頻率的低驅動電壓會導致較大的雙向光束角（例如-16°到16°）。 對于MEMS顯示器應用，諧振頻率范圍從幾kHz到24 kHz甚至更高。 共振取決于致動器類型（系列）以及微鏡類型和直徑。

高速點對點光束掃描

我們專有的無云臺設計的主要優勢是能夠在兩個軸上以同樣高的速度掃描光束。具有0.8 mm直徑大小的微鏡的典型設備可實現高達500 rad/s的角光束掃描，并且在兩個軸上的諧振頻率約為4 kHz。<100 µs的大角度階躍響應建立時間已在具有直徑達0.8 mm的微鏡的設備上得到證明。 具有2.0毫米直徑反射鏡的設備可以實現小于1毫秒的大角度步進穩定時間，諧振頻率約為1.3 kHz。

模塊化設計

為了生產具有不同鏡面尺寸的設備，大多數技術不僅需要新的制造周期，而且在某些情況下還需要完成致動器的重新設計。Mirrorcle Technologies是一家提供基于MEMS的可定制孔徑尺寸光束控制技術的供應商。 即，在自對準硅制造工藝中設計和實現了針對速度、角度、面積足跡或諧振驅動優化的靜電致動器組。 金屬化、超低慣性單晶鏡通過特殊的硅梁設計而變得堅硬和平坦，是在單獨的制造過程中創建的。 反射鏡的直徑和幾何形狀是針對給定應用選擇的，以優化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權衡。 隨后將鏡子粘合到致動器上。

有多種無萬向節兩軸致動器設計可供選擇。執行器本身就適用于模塊化設計方法。每個致動器可以使用任意長度的旋轉器、任意剛性連桿和任意定位的機械旋轉變壓器。庫存類別包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在大多數情況下，由于增加的靜電力，較大的芯片尺寸可以提供更好的性能。 除了芯片尺寸之外，其他參數也有所不同，例如 剛性。 例如，一個設備系列設計為在大角度（-7.5°到+7.5°機械傾斜）下運行，而另一個系列設計為在小傾斜角度但顯著更高的速度下運行（-1.0°到+1.0°機械傾斜）。