產品特點
· 低電流運行
· 超小型尺寸
· 較大的光學偏轉角
典型應用
相關文件
S13989-01H
產品介紹
微型，高性能，電磁驅動的二維激光掃描MEMS振鏡
S13989-01H是電磁驅動振鏡，結合了我們的MEMS（微機電系統）技術。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設備占地空間更小。 通過采用氣密密封包裝，可實現高可靠性。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據弗萊明定律驅動振鏡產生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學偏轉角和高反射鏡反射率。
產品型號及主要指標
| 類型 | For 2-dimensional scan |
| 掃描模式 | 2-axis raster scan |
| 運行模式 | Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode |
| 振鏡尺寸 | φ1.23 mm |
| 振鏡材料 | Aluminium |
| 光學偏轉角 | Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 ° |
| 驅動頻率（值） | Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz |
外形尺寸圖（單位：mm)
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