真空系統-由真空泵或加羅茨泵組成,其主要功能是建立系統真空并排出氣體,在每臺真空泵的吸氣口都裝有因停電而防止氣體返流的自動截止閥。
真空泵 BOC EDWARDS/ALCATEL/ULVAC號 羅茨泵 BOC EDWARDS/ALCATEL/ULVAC
真空閥門 BURKERT/ALEDER 壓力傳感器 BOC EDWARDS
系統極限真空 ≤1.0Pa
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真空系統-由真空泵或加羅茨泵組成,其主要功能是建立系統真空并排出氣體,在每臺真空泵的吸氣口都裝有因停電而防止氣體返流的自動截止閥。真空泵 BOC EDWARDS/ALCATEL/ULVAC號 羅茨泵 BOC EDWARDS/ALCATEL/ULVAC真空閥門 BURKERT/ALEDER 壓力傳感器 BOC EDWARDS系統極限真空 ≤1.0Pa
真空系統-由真空泵或加羅茨泵組成,其主要功能是建立系統真空并排出氣體,在每臺真空泵的吸氣口都裝有因停電而防止氣體返流的自動截止閥。
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