采用精密線性滾珠導軌，分厘卡驅動，運動舒適，精度高，彈簧復位，消除空回。XY 軸驅動分厘卡安裝在一個水平面上，并且分為左右手型（左手型在型號中加L），操作十分方便。Z 軸用分厘卡。
| 型號 | 臺面尺寸 | 傳動方向 | 行程 | 荷重/負載 | 驅動方式 | 最小刻度 | 本體重量 | 材質 | 表面處理 |
| RUW5ML | 74×60.5(mm) | X.Y.Z.θX.θZ軸五個方向 | 13mm/±5 | 29.4N(3kgf) | 分厘卡 | 50μm | 1.2kg | 鋁合金 | 黑色陽極氧化 |
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