RUQF200系列雙軸是目前國氣浮直線臺，我司通過多年的行業經驗，搭配國際上的控制系統，制造出性價比高的氣浮運動臺，廣泛應用于加工，測試測量，掃描，半導體及光子學等行業。
非接觸式結構
RUQFL200系列雙軸氣浮直線臺采用非接觸式氣浮軸承、直線電機驅動和光柵尺閉環反饋組成，確保了在使用時免維護運行，因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，不會出現磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮軸承不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應用的理想選擇。
高精度指標氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現無摩擦和無振動的平滑移動，與摩擦式導軌相比，氣浮直線臺的直線度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指標得到了很大的提高，同時由于非接觸式，伺服反饋的跟隨誤差有了質的飛躍，定位精度和重復精度得到了顯著提高。
線纜管理
精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的線纜，以確保操作。
定制化
可定制大理石或碳化硅材質的氣浮導軌，提升精度性能，行程也可接受定制。
| 產品型號 | 單位 | RUQFL200-200xy | RUQFL200-300xy | RUQFL200-400xy | |||||
| 運動軸 | 軸系 | x | y | x | y | x | y | ||
| 行程 | mm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400 | 400 | ||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.3 | ±0.35 | |||||
| 標準值 | ±0.5 | ±0.6 | |||||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.15 | |||||
| 標準值 | ±0.2 | ±0.3 | |||||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.75 | |||||
| 標準值 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||||||
| 平面度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.75 | |||||
| 標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||||||
| Ritch/roll | Plus值 | Acrsec | ±1 | ±2 | ±3 | ||||
| 標準值 | ±1.5 | ±3 | ±4 | ||||||
| Yaw | Plus值 | Acrsec | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||||
| 標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | |||||||
| 加速度 | m/s | 1 | |||||||
| 速度 | Mm/s | 200 | |||||||
| 負載 | Kg | 20 | |||||||
| 氣體壓力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||||||
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