產品特點：
1.閉式氣浮軸承結構
2.直驅驅動，零齒槽效應
3.高速度穩定性
4.納米級跳動誤差
5.重復定位精度±0.5角秒
RUQFR系列氣浮旋轉臺在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩定性和納米級跳動。RUQFR的設計滿足生物檢測、晶圓檢測、高精度計量、X射線衍射系統、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術設備制造等行業。
對RUQFR直驅旋轉臺進行了優化設計，使工作臺面降到，這種設計結構有效的降低了工作點的高度，減少了因與其他軸疊層安裝引起的阿貝誤差。密封式結構具有高剛度和大負載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差比較小，由此產生的面誤差明顯優于其它氣浮轉臺或氣浮主軸，有利于各種應用。
RUQFR采用無齒槽無刷電機和氣浮軸承，較大的提高了定位性能。電機采用的磁路設計，以最小的熱量產生高扭矩輸出，無齒槽設計固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，這使得QFR非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉等應用。
氣浮轉臺采用精密圓光柵反饋，的驅動控制對光柵信號細分，分辨率0.01角秒，軸向跳動誤差＜100nm。
氣浮轉臺可安裝滑環，用于測試速度穩定性，MEMS和慣性導航等應用。
1.閉式氣浮軸承結構
2.直驅驅動，零齒槽效應
3.高速度穩定性
4.納米級跳動誤差
5.重復定位精度±0.5角秒
RUQFR系列氣浮旋轉臺在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩定性和納米級跳動。RUQFR的設計滿足生物檢測、晶圓檢測、高精度計量、X射線衍射系統、光學檢測和制造以及MEMS/納米技術設備制造等行業。
對RUQFR直驅旋轉臺進行了優化設計，使工作臺面降到，這種設計結構有效的降低了工作點的高度，減少了因與其他軸疊層安裝引起的阿貝誤差。密封式結構具有高剛度和大負載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差比較小，由此產生的面誤差明顯優于其它氣浮轉臺或氣浮主軸，有利于各種應用。
RUQFR采用無齒槽無刷電機和氣浮軸承，較大的提高了定位性能。電機采用的磁路設計，以最小的熱量產生高扭矩輸出，無齒槽設計固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，這使得QFR非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉等應用。
氣浮轉臺采用精密圓光柵反饋，的驅動控制對光柵信號細分，分辨率0.01角秒，軸向跳動誤差＜100nm。
氣浮轉臺可安裝滑環，用于測試速度穩定性，MEMS和慣性導航等應用。
| 產品型號 | RUQFR-100 | RUQFR-200 | RUQFR-300 |
| 行程 | 360° | ||
| 臺面直徑 | 88mm | 188mm | 288mm |
| 驅動方式 | 直驅力矩電機 | ||
| 定位精度 | ±1arc sec | ||
| 雙向重復精度 | ±0.5arc sec | ||
| 同步軸向跳動 | 100nm | ||
| 同步徑向跳動 | 100nm | ||
| 電子分辨率 | 0.01nm | ||
| 速度 (空載) | 300rpm | ||
| 擺動 | 3μrad | ||
| 負載 | 50 Kg | ||
| 工作氣壓 | 0.5±0.05 MPa | ||
| 型號 | A | B | C | D | L1 | L2 | d1 | d2 | d3 | d4 |
| RUQFR100 | 120mm | 120mm | 95.5mm | Φ88mm | 82mm | 82mm | Φ40mm | Φ50mm | Φ60mm | Φ70mm |
| RUQFR200 | 220mm | 220mm | 95.5mm | Φ188mm | 182mm | 182mm | Φ50mm | Φ90mm | Φ130mm | Φ170mm |
| RUQFR300 | 320mm | 320mm | 95.5mm | Φ288mm | 282mm | 282mm | Φ60mm | Φ120mm | Φ180mm | Φ270mm |
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