隨著半導體行業的不斷發展，相應的加工檢測設備的性能提高，我司在運動控制上有著豐富的定位經驗，推出了一款平面式H形雙軸超氣浮運動臺。RUQFHDS采用有限元分析優化的碳化硅陶瓷結構和氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提供了動態性能。廣泛應用于半導體加工、檢測，微納加工、納米級飛切拋光加工及高速掃描等行業。
超精度設計
RUQFHDS結構采用的碳化硅陶瓷設計，比鋁合金氣浮導軌性能約高5倍，熱膨脹系數約低5倍。用此材料及結構設計提升了動態跟蹤誤差，高速響應頻率及位置穩定性，速度達到1m/s，加速度可達4g。利用多年的氣浮制造經驗，開發一種新的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現快速運動和非常快的位置整定。
Z軸采用交叉滾柱導軌導向，直線電機驅動，實現納米級位置抖動，提升系統精度性能。根據應用，RUQFHDS可用于主動或被動隔振系統，可安裝旋轉臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等，整套設備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。
我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
非接觸式直驅設計
RUQFHDS的核心是運用了的直線電機，采用了無鐵芯設計，實現了超平穩的運動。步進軸和掃描軸使用多個電機驅動，安裝位置接近于負載水平面，以提高直線度、平面度和傾角誤差等，同時電機是隔熱的，對于高占空比應用，電機可選水冷或氣冷，盡量避免因電機發熱引起的誤差。
| 產品型號 | 單位 | RUQFHDS-300-300 | RUQFHDS-400-400 | RUQFHDS-500-500 | |||||||
| 運動軸 | 軸系 | x | y | x | y | x | y | ||||
| 行程 | mm | 300 | 300 | 400 | 400 | 500 | 500 | ||||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.1 | ±0.15 | |||||||
| 標準值 | ±0.2 | ±0.35 | |||||||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.075 | ±0.1 | |||||||
| 標準值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ||||||
| 標準值 | ±0.5 | ||||||||||
| 平面度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.3 | ±0.4 | ||||||
| 標準值 | ±0.5 | ||||||||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0.5 | ±1 | |||||||
| 標準值 | ±1 | ±1.5 | |||||||||
| 正交性 | Plus值 | ARC SEC | 2 | ||||||||
| 標準值 | 5 | ||||||||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | |||||||||
| 速度 | m/s | 1 | |||||||||
| 加速度 | m/s | 5，（10，20，30）定制 | |||||||||
| 負載 | Kg | 20 | |||||||||
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