RUQFL3D系列是目前我司制造的，結構緊湊的三軸氣浮運動臺。廣泛應用于精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業。由于非接觸式運動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。
直線臺設計
RUQFL3D是一款非接觸式預負載氣浮直線臺，氣浮非接觸式結構已經證明是精密應用中的理想選擇，適用于微納制造，測試測量和光子學對準等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是微動步距，還是速度穩定性的要求，RUQFL3D都證明是最終的解決方案。
定制化設計
根據用戶實際應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如單軸Z軸低摩擦氣缸配重結構，雙軸T形曲面加工結構和三軸間行程大小等都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到最小，各軸也可以定制化，保證精度性能。
線纜優化管理
經過多年的研究，線纜管理對精指標度有影響，我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
潔凈室兼容性
氣浮軸承本質上與潔凈室環境兼容，高質量的無塵線纜管理系統也符合實驗室環境。
直線臺設計
RUQFL3D是一款非接觸式預負載氣浮直線臺，氣浮非接觸式結構已經證明是精密應用中的理想選擇，適用于微納制造，測試測量和光子學對準等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是微動步距，還是速度穩定性的要求，RUQFL3D都證明是最終的解決方案。
定制化設計
根據用戶實際應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如單軸Z軸低摩擦氣缸配重結構，雙軸T形曲面加工結構和三軸間行程大小等都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到最小，各軸也可以定制化，保證精度性能。
線纜優化管理
經過多年的研究，線纜管理對精指標度有影響，我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。
潔凈室兼容性
氣浮軸承本質上與潔凈室環境兼容，高質量的無塵線纜管理系統也符合實驗室環境。
| 產品型號 | 單位 | RUQFl3D-50-50-25 | RUQFl3D-100-100-25 | RUQFl3D-150-150-25 | |||||||||
| 運動軸 | 軸系 | x | y | z | x | y | z | x | y | z | |||
| 行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 | |||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||
| 標準值 | ±0.2 | ||||||||||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | |||||||||
| 標準值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.25 | ±0.5 | |||||||||
| 標準值 | ±0.5 | ±0.75 | |||||||||||
| 平面度 | ｕm | ±0.5 | ±0.75 | ||||||||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | |||||||||||
| 加速度 | m/s | 1，（5定制） | |||||||||||
| 速度 | Mm/s | 200 | |||||||||||
| 負載 | Kg | 5 | |||||||||||
| 供氣壓力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||||||||||
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