XY軸為精密氣浮運動臺，Z軸為線軌平升結構，緊湊的三軸結構應用于加工，測試測量及半導體行業。由于非接觸式移動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。
結構優勢
XY軸采用非接觸式氣浮導軌、直線電機驅動和光柵尺反饋裝置組成整個系統，確保免維護運行。因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，不會出現磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮導軌不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應用的理想選擇。
RUQFL系列直驅結構，直接移動負載，不是蝸輪蝸桿結構傳動，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能短的高度，優化了Abbe誤差，有助于提高整體精度性能。采用抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，為提升直線度、Pitch/Roll/Yaw指標提出了創新解決方案。
線纜管理
精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的電纜，以確保操作。
定制化
XY軸可定制大理石或碳化硅材質的氣浮導軌，提升精度性能。行程可接受定制。
| 產品型號 | 單位 | RUQF100-100 | RUrbsv100-20 | |
| 行程 | mm | 100 | 20 | |
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.15 | ±0.25 |
| 標準值 | ±0.2 | ±0.3 | ||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.2 |
| 標準值 | ±0.1 | ±0.25 | ||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.2 | ±3 |
| 標準值 | ±0.5 | ±0.4 | ||
| 平面度 | ｕm | ±0.2 | / | |
| ±0.5 | / | |||
| Ritch/roll/ | Plus值 | ARC SEC | ±1 | ±5 |
| 標準值 | ±2 | ±6 | ||
| yaw | Plus值 | ARC SEC | ±1 | ±2.5 |
| 標準值 | ±2 | ±10 | ||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | ||
| 加速度 | m/s | 100 | 10 | |
| 負載 | Kg | 10 | ||
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。