X/Y軸（底軸/上軸）采用氣浮導軌導向，直線電機質心驅動及光柵尺閉環反饋。XY軸十字疊層組裝，Y軸長度約等于X軸寬度，保證負載在極限位置時，不會出現懸空，提供精度性能，正交性可高達2arc sec.
X 軸為永磁預載氣浮結構，Y軸為閉式氣浮結構，特殊的結構設計，能使雙軸氣浮運動臺獲得更高的精度，X軸定位抖動100nm內，Y軸定位抖動200nm內。
Z軸采用精密交叉滾柱導軌導向，直線電機驅動和光柵尺閉環反饋，因直線電機作為Z軸無抱閘功能，配置低摩擦氣缸，安裝負載后，有效抵消電機向上持續保持力，提升精度性能，交叉滾柱導軌作為Z軸，在定位抖動上有著良好性能。
用大理石作為基座，大理石因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好，應用于運動臺上質量可靠，有保障。大理石做模態分析，結構尺寸，依據客戶的要求做最終設計。
| 產品型號 | 單位 | RUQF200-200-200-50z | RUQF200-300-300-100z | |||||||
| 軸號 | x | y | z | x | y | z | ||||
| 行程 | mm | 200 | 200 | 50 | 300 | 300 | 100 | |||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.2 | ±0.15 | ||||
| 標準值 | ±0.4 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.35 | ||||||
| 雙重復定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.1 | ±0.025 | ±0.15 | ±0.075 | ||||
| 標準值 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.1 | ||||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.75 | ±1 | ||||
| 標準值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.75 | ±2 | ||||||
| 平面度 | ｕm | ±0.4 | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||||
| ±0.5 | ±1.5 | ±1 | ±1 | |||||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0. 5 | ±4 | ±1 | ±6 | ||||
| 標準值 | ±1 | ±6 | ±1.5 | ±7.5 | ||||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | ||||||||
| 速度（空載） | m/s | 0.5 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | |||||
| 加速度 | m/s | 5，（10，20定制） | ||||||||
| 負載 | Kg | 20 | 15 | 20 | 15 | |||||
| 供氣壓力 | Mpa | ±0.5±0.05 | ||||||||
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