| 產品型號 | RU120TA100K-50 | RU120TA100K-100 | RU120TA100K-150 | RU120TA100K-200 | RU120TA100K-300 | RU120TA100K-400 | RU120TA100K-500 | |
| 機械規格 | 臺面尺寸 | 120×120mm | ||||||
| 行程 | 50 mm | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm | |
| 傳動方式 | 高精密滾珠螺桿(導程4mm) | |||||||
| 導軌 | 高精密線性滑塊導軌 | |||||||
| 材質/表面處理 | 316不銹鋼(電鍍) | |||||||
| 重量 | 13.2kg | 14.1kg | 15kg | 16kg | 16.9kg | 17.9kg | 18.8kg | |
| 單軸 精度規格 | 臺面承載 | 30 kg | 25 kg | 20 kg | ||||
| 速度 | 10mm/sec | |||||||
| 單向定位精度 | 5μ | |||||||
| 反復定位精度 | 8μ | |||||||
| 平行度 | 5µ | 6µ | 8µ | |||||
| 運動平行度 | 10µ | 15µ | 20µ | |||||
| 其他配件 | 可加裝光柵尺 | |||||||
| 電器規格 | 馬達類型 | 極低溫真空電機 □86步進/750W伺服 | ||||||
| 適用環境 | 真空環境/真空100K極低溫環境/真空150℃高溫環境 | |||||||

RU120TA100K-50
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RU120TA100K-100
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RU120TA100K-200











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