應用領域適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀
激光共聚焦顯微鏡等領域應用技術指標固有頻率：豎直：2～3HZ水平：2～3HZ（負載相關）
材質結構：上板；
SUS430冷軋鐵素不銹鋼/下板；
SS400鋼除振方式：超柔軟模壓膜片型空氣彈簧隔震方式；
自平衡氣浮振幅：<1MM荷載能力；
100KG/M2重復定位精度：±0.05MM超級經濟款，根據用戶的用途提供帶矩陣M6螺紋孔面包板和光面面包板。
超薄氣浮隔振光學平臺。井字焊接結構臺面。
三點自動平衡高度傳感器。設備方便移動，可供輕載型光學儀器使用。
激光共聚焦顯微鏡等領域應用技術指標固有頻率：豎直：2～3HZ水平：2～3HZ（負載相關）
材質結構：上板；
SUS430冷軋鐵素不銹鋼/下板；
SS400鋼除振方式：超柔軟模壓膜片型空氣彈簧隔震方式；
自平衡氣浮振幅：<1MM荷載能力；
100KG/M2重復定位精度：±0.05MM超級經濟款，根據用戶的用途提供帶矩陣M6螺紋孔面包板和光面面包板。
超薄氣浮隔振光學平臺。井字焊接結構臺面。
三點自動平衡高度傳感器。設備方便移動，可供輕載型光學儀器使用。
| 型號 | 尺寸 | 外形尺寸（含橡膠腳墊） | 臺面尺寸（lxw） | 螺紋孔邊距尺寸(A) | 本體重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| RUPD-0504-M6 | 530x430x30 | 530x430x109 | 530x4 | 1 | 46 |
| RUPD-0605-M6 | 630x530x30 | 630X530X103 | 630X5 | 1 | 57 |
| RUPD-0806-M6 | 800X600X30 | 800X600X109 | 800X6 | 37 | 77 |
| RUPD-1007-M6 | 1000X750X30 | 1000X750X109 | 1000X7 | 116 | |
| RUPD-0504-X | 530X430X30 | 530X430X109 | 530X4 | - | 47 |
| RUPD-0605-X | 630X530X30 | 630X530X109 | 630X5 | 58 | |
| RUPD-0806-X | 800X600X30 | 800X600X109 | 800X6 | 78 | |
| RUPD-1007-X | 1000X750X30 | 1000X750X109 | 1000X750 | 118 |
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