| X | Y | Z | θX | θY | θZ | |
| RU6E-L | RUB10-60LN | RUB30-60LK | RUB10-60RN | RUB51-60LN | RUB58-60UC | |
| RU6E-R | RUB10-60RN | RUB30-60RK | RUB10-60LN | RUB51-60RN | RUB58-60UCR | |
| 行程 | 粗動:±6.5mm 微動;±0.3mm | ±2.5° | ±4° | |||
| 分辨率 | 粗動:10μM 微動:0.5μM | ≈29.3″ | ≈33″ | |||
| 光軸高 | 130mm | |||||

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簡要描述:....
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| RU6E-R | RUB10-60RN | RUB30-60RK | RUB10-60LN | RUB51-60RN | RUB58-60UCR | |
| 行程 | 粗動:±6.5mm 微動;±0.3mm | ±2.5° | ±4° | |||
| 分辨率 | 粗動:10μM 微動:0.5μM | ≈29.3″ | ≈33″ | |||
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