簡(jiǎn)介 ：

Sigma 系列產(chǎn)品

用于高品質(zhì)成像與高級(jí)分析的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

靈活的探測(cè)，4步工作流程，高級(jí)的分析性能

將高級(jí)的分析性能與場(chǎng)發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測(cè)器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動(dòng)的4步工作流程節(jié)省大量的時(shí)間：設(shè)置成像與分析步驟，提高效率。

Sigma 300 性?xún)r(jià)比高。Sigma 500 裝配有**的背散射幾何探測(cè)器，可快速方便地實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)分析。任何時(shí)間，任何樣品均可獲得精準(zhǔn)可重復(fù)的分析結(jié)果。

用于清晰成像的靈活探測(cè)

l  利用探測(cè)術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。

l  利用 in-lens 雙探測(cè)器獲取形貌和成份信息。

l  利用新一代的二次探測(cè)器，獲取高達(dá)50%的信號(hào)圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測(cè)器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對(duì)比度的銳利的圖像。

Sigma 的 4 步工作流程節(jié)省大量的時(shí)間

自動(dòng)化加速工作流程

l  4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶(hù)環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先，先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

l  首先，先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

l  接下來(lái)對(duì)樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動(dòng)采集圖像。*后使用工作流程的*后一步，將結(jié)果可視化。

使用**的 EDS 幾何探測(cè)器加速 X 射線(xiàn)分析

高級(jí)分析型顯微鏡

l  將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma **的背散射幾何探測(cè)器大大提升了分析性能，特別是對(duì)電子束敏感的樣品。

l  在一半的檢測(cè)束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。

l  獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無(wú)陰影的分析結(jié)果。

基于成熟的 Gemini 技術(shù)

l  Gemini 鏡頭的設(shè)計(jì)結(jié)合考慮了電場(chǎng)與磁場(chǎng)對(duì)光學(xué)性能的影響，并將場(chǎng)對(duì)樣品的影響降至更低。這使得即使對(duì)磁性樣品成像也能獲得出色的效果。

l  Gemini in-lens 的探測(cè)確保了信號(hào)探測(cè)的效率，通過(guò)二次檢測(cè)(SE)和背散射(BSE)元件同時(shí)減少成像時(shí)間。

l  Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測(cè)器尺寸和高的信噪比。

可視化及分析軟件

蔡司推薦您使用Object Research Systems (ORS) 的 Dragonfly Pro

此解決方案可為X射線(xiàn)，F(xiàn)IB-SEM，SEM以及氦離子顯微鏡獲取的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行可視化三維重構(gòu)和分析。

基于Visual SI Advanced系列, Dragonfly Pro 能提供高清解析度可視化技術(shù)和優(yōu)異的圖形處理技術(shù)。Dragonfly Pro支持通過(guò)簡(jiǎn)單易用的Python腳本進(jìn)行定制。用戶(hù)可以掌控3D數(shù)據(jù)后期處理環(huán)境和流程