KT-PID1000Z是一款真空恒壓控制系統，系統支持4立方-16立方每小時抽速的各種型號雙級旋片機械泵，通過線性閥門控制真空泵的抽氣速率，進而獲得對腔室內壓力的精密測量和恒壓控制，可與我公司的管式爐、鍍膜儀，封口機等設備結合，實現PVD、CVD以及PECVD等工藝的壓力恒定的精確控制。
廣泛應用于擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜工藝、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器中。
技術參數：
控制方式：PID算法控制
控制范圍：1000Pa-1Pa （根據腔體大小 真空泵抽氣速率）
PID調節抽速率范圍：0-100％
支持真空泵：4-16立方米每小時抽氣速率
抽氣口真空法蘭：KF16 KF25 KF40
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