D07-26C質(zhì)量流量控制器 它們在半導(dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括； 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入； 以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
| 編號 | 項目 | D07-26C |
| 1 | 流量規(guī)格 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
| ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ||
| 2 | 準(zhǔn)確度 | ±1.5 % F.S. |
| 3 | 線性 | ±1% F.S. |
| 4 | 重復(fù)精度 | ±0.2 % F.S. |
| 5 | 響應(yīng)時間 | ≤10 sec |
| 6 | 工作壓差范圍 | 0.1 ~ 0.5 MPa |
| 7 | 耐壓 | 3 MPa |
| 8 | 溫度系數(shù) | Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; |
| 9 | 工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
| 10 | 輸入信號 | 0 V ~ +5.00 V |
| 11 | 輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V |
| 12 | 電插頭形式 | DB15 pin（Female） |
| 13 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA |
| 14 | 外形尺寸 | 見圖4 |
| 15 | 重量 | 1.1 kg |
注意：質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)
SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分);
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 --- 273.15K ( 0°C );
氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星電子 MFC/MFM 產(chǎn)品中心，單位 SCCM 和“mL/min， 0°C，1atm"等同，單位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm"等同。
F.S (Full Scale): 滿量程值
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