D07-60B氣體質量流量控制器 高精度 重復性好 快響應型 超大流量計型 廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業
D07-60B 氣體質量流量控制器
產品型號：D07-60BM
★ 高精度 重復性好 快響應型 超大流量計型
★ 橡膠密封 模擬電路的MFC
★ 國際標準機械接頭
| 編號 | 項 目 | D07-60BM | |
| 1 | 流量規格 | 300，500，750，1000，1500，2000SLM | |
| 2 | 準確度 | ± 2% F.S. | |
| 3 | 線性 | ±1% F.S. | |
| 4 | 重復精度 | ±0.2%F.S. | |
| 5 | 響應時間 | ＜ 10 sec | |
| 6 | 工作壓差范圍 | ＜0.2 MPa | |
| 7 | 耐壓 | 3 MPa | |
| 8 | 工作環境溫度 | 5~ 45 ℃ | |
| 9 | 輸入信號 | 無 | |
| 10 | 輸出信號 | 0～5.00V（輸出電流≤3mA） | |
| 11 | 閥的類型 | 無 | |
| 12 | 電源 | +15V 50 mA -15V 50 mA | |
| 13 | 外形尺寸 | 見圖 3a、3b、3c、3d | |
| 14 | 重量 | 5kg | |
注意:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態規定為:溫度 --- 273.15K ( 0℃ );
氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星電子MFC/MFM產品中，單位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm"等同，單位SLM和“L/min, 0℃,1atm"等同。
F.S. (Full Scale): 滿量程值
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