低溫等離子廢氣凈化設備是一種新型的干法處理廢氣的處理設備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，無產生二次污染，換及維護保養方便，運行成本低廉，是廢氣治理的一項技術。適用于惡臭廢氣、苯、甲苯、二甲苯、苯等難難溶性物廢氣治理。

等離子處理設備又稱低溫等離子廢氣凈化器。

本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→電子

(2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

低溫等離子廢氣凈化設備的特點：

1、操作方便：低溫等離子體設備，操作簡單，方便，無需專人看管，如遇故障自動停機報警。

2、能耗低：低溫等離子體處理煙氣，運行費用低廉，約2～5瓦時/米3。

3、運行環境要求低：在-60℃~+300℃的環境內均可正常運轉，特別是在潮濕，甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。

4、設備使用壽命長：本設備性強，在酸性氣體中。