等離子廢氣凈化器又稱為低溫等離子廢氣凈化器、等離子廢氣處理設備，低溫等離子廢氣凈化器是一種用應于廢氣處理的環保設備，具有阻力小，操作簡單等特點，等離子廢氣處理設備廣泛適用于工廠各種低濃度的廢氣處理。等離子廢氣凈化器采用了 的吸附-分解-碳化-離心式抽風安裝工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養方便。
低溫等離子廢氣凈化器工作原理是：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。
低溫等離子廢氣凈化器在發作等離子體的過程中，高頻放電所發作的瞬間量可以翻開某些氣體分子的化學能，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈分解為單質原子或分子。
等離子體中包含很多的電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子取得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵開裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得氣體分子。
低溫等離子空氣凈化器在環境工程中的應用
低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生 的危害；另外工業煙氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。
降解揮發性污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是 意義上的低溫等離子廢氣處理技術。
等離子模塊含有一體化體系，裝置方便！主要是經過風量大小來選技合理的等離子模塊，合作場所及風管收集體系來進行裝置，終究到達環保規范。
低溫等離子廢氣凈化器采用高壓發生器形成低溫等離子體，等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。
放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態。等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。在平均能量約5eV的大量電子作用下，通過凈化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、S、CO2等低分子物質，使廢氣凈化。
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