Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測(cè)儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動(dòng)裝置。Mini ODS能夠拓展支持額外的獨(dú)立流程臭氧發(fā)生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護(hù)簡(jiǎn)單，不需求消耗品或預(yù)防性維護(hù)。該系統(tǒng)也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監(jiān)分析儀交互。為了更加安全，該系統(tǒng)也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測(cè)儀和臭氧破壞器子系統(tǒng)聯(lián)鎖。
規(guī)格
規(guī)格
系統(tǒng) ：Mini ODS
完整并可立即使用的臭氧輸送系統(tǒng)
臭氧濃度 ：超過320 g/Nm3 或 21.0% w/w
臭氧流量 ：1 slpm (可選其他流量)
臭氧出口壓力 ：15 到 40 PSIG (通常設(shè)置為 30 PSIG)
環(huán)境溫度 ：5-35°C
氣源 ：氧氣 級(jí)別6或更高
氮?dú)?：級(jí)別5或更高(只用于摻雜)
冷卻用水 ：溫度 17 到 20°C
流量 ：根據(jù)配置
設(shè)定值控制器 ：自動(dòng)伺服回路控制
用戶可編程的設(shè)定值
- 發(fā)生器功率
- 氣體流量
- O3濃度
(最多同時(shí)且獨(dú)立的控制兩臺(tái)O3發(fā)生 器)
分析儀 ：紫外臭氧濃度分析儀 (紫外溶解臭氧濃度分析儀 可選)
氣體流量控制器 ：包含氧氣和氮?dú)獾馁|(zhì)量流量計(jì)
調(diào)節(jié)器 ：包含背壓調(diào)節(jié)器
顯示 ：2 行 x 40 字母，VFD
模擬 I/O ：1x 模擬輸出, 0-5VDC
1x 模擬輸入, 0-5VDC
數(shù)字 I/O ：RS-232C, 雙向
2x 數(shù)字輸入
2x 數(shù)字輸出
電源 ：208 到 240 VAC, 1θ 或 3θ
尺寸 ：19” x 13.7” x 18” (寬 x 高 x 長(zhǎng)) (48 cm x 35 cm x 46 cm)
認(rèn)證 ：CE
保修 ：1 年
特征
設(shè)計(jì)緊湊
生成濃度超過21% w/w的臭氧
19” 機(jī)架固定或放置在桌面
價(jià)格低/無耗材
完整整合的產(chǎn)品包括:
- 高純度臭氧發(fā)生器
- 高濃度臭氧分析儀
- 閉環(huán)伺服控制器
- 氧氣質(zhì)量流量計(jì)
- 氮?dú)赓|(zhì)量流量計(jì)
- 背壓調(diào)節(jié)器
- 電-氣分流閥
應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長(zhǎng)
表面處理
顆粒清潔
光刻膠去除
灰化
系統(tǒng)選項(xiàng)
臭氧破壞器
溶解臭氧分析儀
臭氧安全分析儀
可拓展控制額外的臭氧分析儀
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