ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機臺聯(lián)動，插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
規(guī)格
規(guī)格
特征
高純度水冷臭氧發(fā)生器，濃度達(dá)
350 g/Nm3
的高濃度監(jiān)測儀
使用質(zhì)量流量計監(jiān)測和控制臭氧和
進(jìn)氣
完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)
最多支持四個獨立的伺服控制回路
19英寸柜機式外殼，頂端帶有排氣系
統(tǒng)，底端配有輪子
應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
顆粒清潔
光刻膠去除
灰化
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