一、簡介
FT-MTA03集納米壓痕儀、微拉力儀、輪廓儀和通用微觀結構分析儀的功能于一體，其測力范圍為±200mN，力學分辨率可達0.5nN（9個數量級），可在三軸方向測量0.1nm至29mm的位移（8個數量級）。FT-MTA03配置高分辨率顯微鏡，具有95mm的高工作距離，可在樣品上方180°旋轉。配備3百萬像素CMOS USB相機，可選擇同軸透鏡照明、環形光和漫射背光三種可調LED照明原理。
FT-MTA03輕巧便捷，尺寸僅有44x39x46（cm），適用于水平測試，垂直測試或從不同角度進行測試。通過配備不同類型的FemtoToolsFT-S微動傳感探頭，可用于在nN到mN范圍內的測量。除機械測試和分析外，還可配備FT-G微鑷系列，用于微型組裝或樣品制備。
二、 功能
l 主要功能
納米壓痕：軟材料表征、壓痕蠕變試驗、微膠囊/顆粒壓縮試驗、材料失效/斷裂試驗。
微拉伸試驗：纖維拉伸試驗(電紡、真絲、紡織品)、蠕變和應力松弛試驗、纖維液體拉伸試驗、微復合材料斷裂試驗、生物纖維拉伸試驗。
輪廓儀：形貌二維、三維制圖，高縱橫比結構尺寸，薄膜臺階高度測量，邊緣深度測量。
微觀結構分析：高適應性力-撓度試驗機，0.5 nN - 200mn微力分析儀，平面內外微機械測試，微執行機構表征，粘合力測量(干膠，..)。
l 技術特點
微機械測試模塊：
微機械測試模塊包括2軸樣品定位臺、3軸壓敏傳感器、基于mems的FT-S微力傳感探頭和3軸納米定位平臺(粘滑驅動)。所有這些定位器都是電動的，可以通過FemtoTools機械測試和處理軟件套件進行控制。對于大范圍的測量，壓電粘滑執行機構可以沿三個軸進行機械測試，范圍為29毫米，位置分辨率為1納米。對于短距離測量,使用硬件piezoscanner是用來測量一系列50μm位置分辨率為0.1 nm沿三個軸。此外，壓敏傳感器特別適合于快速、連續的測量。
顯微鏡模塊：
高性能FT-MTA03數字顯微鏡模塊工作距離非常大，達到95毫米。顯微鏡可以在樣品周圍傾斜180度。這使得樣品在不同角度的可視化，同時避免了傳感器或微夾持器遮擋樣品的視線。該顯微鏡還具有7:1的電動光學變焦和電動聚焦功能，可以在9.5毫米x 7.1毫米到1.4毫米x 1.0毫米的范圍內觀察樣品。可以選擇三種不同的可調LED照明原理:同軸透透鏡照明、環形光和漫反射背光。
三、應用
軟物質材料的納米壓痕
大位移范圍結合低力傳感能力使FT-MTA03成為一種理想的軟材料表征工具。這里，一個球形的用來縮進PDMS樣品。除標準材料參數外，還提供了不同材料模型的原力-位移-時間數據。
懸浮金剛石膜的力學性能三維掃描
一種用于可調諧微光學的納米金剛石和氮化鋁薄膜的測試。測量了薄膜的形貌和剛度。右上圖為微膜的形貌，右下圖為微膜的剛度分布。左下角的圖是通過膜的中心部分的剛度圖的橫截面。
硅纖維的微尺度拉伸試驗
通過拉伸試驗，對輥式靜電紡絲法制備的二氧化硅微纖維進行了力學性能表征。
四、用戶
武漢大學、煙臺大學、上汽大眾、上海交大、清華大學、斯坦福大學、西門子等
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