一、簡介

美國Frontier Semiconductor, 簡稱“FSM"，F(xiàn)SM為半導(dǎo)體、LED、太陽能、FPD、數(shù)據(jù)存儲和MEMS應(yīng)用提供一系列的計量產(chǎn)品和解決方案。在應(yīng)力測量、薄膜附著力測試、晶圓形貌計量和電氣表征方面擁有超過25年的經(jīng)驗。其推出基于商業(yè)化應(yīng)用的激光掃描光學(xué)杠桿（Optilever）技術(shù)，主要應(yīng)用于薄膜應(yīng)力和晶圓彎曲測量。

二、技術(shù)規(guī)格

FSM 128NT-8寸，F(xiàn)SM 128L-12寸

FSM 500TC-8寸，500℃

FSM 500TC 300-12寸，500℃

650nm及780nm雙激光自動切換

測量點位數(shù)：每毫米大于40點

2D/3D結(jié)果顯示

不帶圖案和帶圖案晶圓同樣適用。

三、應(yīng)用

應(yīng)用于各類無圖案晶圓PVD和CVD鍍膜及有圖案晶圓的應(yīng)力和Bow測試。