一、膜厚測量儀 產(chǎn)品組成：

（1）測試主機(jī)

（2）光纖

（3）校正件

（4）測量頭

（5）夾持裝置

（6）手提電腦

（7）設(shè)備箱

二、膜厚測量儀 產(chǎn)品特點(diǎn)：

（1）采用光譜干涉原理進(jìn)行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點(diǎn)；

（2）可在真空環(huán)境使用；

（3）可與大行程工件臺(tái)配合，實(shí)現(xiàn)大面積膜厚自動(dòng)測量；

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

（1）測量范圍（VIS）：15nm—100μm    

（2）測量重復(fù)性（RMS）：0.086nm    

（3）測量精度（與橢偏儀對比）：0.25nm    

（4）測量層數(shù)：大于3層；

（5）使用光源：鹵素?zé)簦?   

（6）入射角度：90°    

（7）測試材料：透明或半透明薄膜材料；    

（8）光斑尺寸：20μm—3mm（可選）    

（9）測量時(shí)間：100ms—4ms

（10）通信接口：USB2.0