Aera FC-7700質量流量控制器
作為針對各種應用的業界*標準，Aera® FC-7700 系列 MFC 提供準確的流量控制，同時具備彈性密封的經濟優勢。對于半導體、平板顯示器、數據儲存、工業真空、及工業涂層的工藝及裝備工程師，這一系列提供針對非腐蝕性氣體應用（包括 CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝）的高度可靠性和出眾的性能。
優勢 |
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性價比高 | |
FC-7700系列產品專為那些要求超卓性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制，不僅性價比好，而且控制精度非常高。 |
響應速度快 | |
FC-7700系列產品采用技術設計，工作性能遠遠優于同類質量流量控制器MFC.其之處包括：采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產品相比，FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。提高響應速度之后，避免了出現過沖，達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是較快的。 |
無可倫比的可靠性 | |
由高質量的電子組件和采用耐用、較少元器件的設計理念，這使它可以經受強射頻場的干擾，滿足其它運轉要求，并具有同類產品中上佳的零點漂移穩定性--使用超過一年，零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產品中，僅有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。 |
易于集成 | |
替換其它品牌，即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現有的系統。 |
出從的效果 | |
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的性，同時還有高度的可重復性 |
型號參數： ?Aera FC-7700質量流量控制器
類別 | FC-7700、7700C、7700CD、7700CU | FC-7710、7710C、7710CD、7710CU | FC-7720、7720C、7720CD |
滿量程范圍 | 10sccm到5slm | 6到20slm | 35到150slm |
20到50slm | |||
響應時間 | 到達設定點±2%所需時間<2秒 | 到達設定點±2%所需時間<3秒 | |
精度 | 滿量程±1%范圍內 | 滿量程±2%范圍內 | |
線性度 | 滿量程±0.5%范圍內 | 滿量程±0.5%范圍內 | 滿量程±1%范圍內 |
滿量程±1%范圍內 | |||
重復精度 | 滿量程±0.2%范圍內 | ||
漏率 | 大值1×10-6 atm-cc/秒（氦） | ||
控制范圍 | 滿量程的5到100% | ||
壓差 | 7至40 psi | 10至40 psi（517至2069托） | 21至40 psi（1086至2069托） |
（362至2069托） | 14至40 psi（724至2069托） | ||
正常工作壓力 | 50 psi（2586托） | ||
大入口壓力 | 大值150 psi（7740托） | ||
溫度范圍 | 5至45℃ | ||
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