GE50A彈性密封數字流量控制器
新款彈性密封數字流量控制器
GE50A是一種通用的、彈性密封質量流量計，適用于需要5sccm-50slm（N2當量）流量控制的各種應用場合；其采用了的數字流量控制電子設備，以及擁有成熟的，獲得的熱傳感器和機械設計。
GE50A數控質量流量計有兩種I/O選擇：數字或模擬。數控電子部分采用的的MKS控制算法，在貫穿整個控制范圍內，對設點提供快速，可重復的響應。標準響應時間為500毫秒。GE50A還包括一個數字校準，可對校準氣體產生不超過1％的設點精度。可以輕松取代相同I / O類型的1179A系列流量計。
GE50A采用的是在5sccm到50slm流速范圍內MFC常用的標準3英寸機體，使得對它的使用不需要修改現有行氣配置。 在設計上還采用了極少使用的彈性體，只有一個外部彈性體密封件和彈性體閥芯，其他所有濕潤表面都是金屬材質。GE50A標配Viton®材質密封以及可供選擇的橡膠和氯丁橡膠，允許使用不同氣體的設備從中找到選擇。
新款彈性密封數字流量控制器
特點和長處：
◇ 擁有設計的熱傳感器，提供了超卓的零點穩定性。
◇ 校準氣體1%的設點精度，實現了準確的過程控制。
◇ 嵌入式用戶界面提供了以下兩項功能：
-輕松改變設備的范圍和降低用氣庫存要求
-監控設備的功能，現場收集性能數據
◇ 兼容的模擬和數字（RS485，DeviceNet，PROFIBUS®）I / O，可以取代對應的1179A
◇ CE標志，符合RoHS - 歐盟會議要求
美國編號：5461913.
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