160 系列閥門
真空閥門
帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門
MKS擁有波紋管密封真空直閥的完整產品系列，對ISO-KF、ISO-通用型、ASA、CF法蘭和焊樁產品，其尺寸從3/4" 到6"都有。160系列閥門具有長的設計壽命，適用于高頻度使用的場合。其固有簡潔性和超卓的設計使它們可以應用于半導體生產設備中，在這些設備中往往存在著化學污染和顆粒沾污。該系列產品還可以用于等離子物理和核加速器等領域中的研究應用中。它通常具有數十萬個開/關周期的工作壽命。
零件編號 | 描述 | 連接方式 | 限位開關 | 電磁閥 |
帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門手動
161-0016K | 手動軸向閥門 | ISO-KF NW 16 | 否 | 否 |
161-0025K | 手動軸向閥門 | ISO-KF NW 25 | 否 | 否 |
161-0040K | 手動軸向閥門 | ISO-KF NW 40 | 否 | 否 |
161-0050K | 手動軸向閥門 | ISO-KF NW 50 | 否 | 否 |
161-0063P | 手動軸向閥門 | ISO-Universal NW 63 | 否 | 否 |
161-0080P | 手動軸向閥門 | ISO-Universal NW 80 | 否 | 否 |
帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門氣動
162-0016K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 16 | 否 | 否 |
162-0025K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 25 | 否 | 否 |
162-0040K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 40 | 否 | 否 |
162-0050K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 50 | 否 | 否 |
162-0063P | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 63 | 否 | 否 |
162-0080P | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 80 | 否 | 否 |
帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門 氣動 帶限位開關
162-1016K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 16 | 是 | 否 |
162-1025K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 25 | 是 | 否 |
162-1040K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 40 | 是 | 否 |
162-1050K | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 50 | 是 | 否 |
162-1063P | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 63 | 是 | 否 |
162-1080P | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 80 | 是 | 否 |
帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門 氣動 帶電磁閥
163-0016K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 16 | 否 | 是 |
163-0025K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 25 | 否 | 是 |
163-0040K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 40 | 否 | 是 |
163-0050K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 50 | 否 | 是 |
163-0063P-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 63 | 否 | 是 |
163-0080P-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 80 | 否 | 是 |
160 系列閥門（續）
帶有ISO法蘭的160系列軸向閥門 氣動 帶電磁閥 和限位開關
163-1016K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 16 | 是 | 是 |
163-1025K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 25 | 是 | 是 |
163-1040K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 40 | 是 | 是 |
163-1050K-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-KF NW 50 | 是 | 是 |
163-1063P-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 63 | 是 | 是 |
163-1080P-XXXXX | 氣動軸向閥門 | ISO-Universal NW 80 | 是 | 是 |
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電磁閥
注：在確定帶電磁閥的氣動閥門零件編號時，請先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴展零件編號。
零件編號示例: 163-1160P-24VDC
電壓和頻率 | 24 VDC | 24 VAC 50-60 Hz | 208 VAC 50-60 Hz | 100-120 VAC 50 Hz; | 210-240 VAC 50 Hz; |
零件編號 | -24VDC | -24V/50-60 | -208V/50-60 | -120V/50-60 | - 220V/50-60 |
帶有CF法蘭的160系列軸向閥門
零件編號 | 描述 | 連接方式 | 限位開關 | 電磁閥 |
帶有CF法蘭的160系列軸向閥門手動
161-0016C | 手動軸向閥門 | 1-1/3" CF | 否 | 否 |
161-0025C | 手動軸向閥門 | 2-1/8" CF | 否 | 否 |
161-0040C | 手動軸向閥門 | 2-3/4" CF | 否 | 否 |
161-0050C | 手動軸向閥門 | 3-3/8" CF | 否 | 否 |
161-0063C | 手動軸向閥門 | 4-1/2" CF | 否 | 否 |
161-0080C | 手動軸向閥門 | 4-5/8" CF | 否 | 否 |
帶有CF法蘭的160系列軸向閥門氣動
162-0016C | 氣動軸向閥門 | 1-1/3" CF | 否 | 否 |
162-0025C | 氣動軸向閥門 | 2-1/8" CF | 否 | 否 |
162-0040C | 氣動軸向閥門 | 2-3/4" CF | 否 | 否 |
162-0050C | 氣動軸向閥門 | 3-3/8" CF | 否 | 否 |
162-0063C | 氣動軸向閥門 | 4-1/2" CF | 否 | 否 |
162-0080C | 氣動軸向閥門 | 4-5/8" CF | 否 | 否 |
帶有CF法蘭的160系列軸向閥門 氣動 帶限位開關
162-1016C | 氣動軸向閥門 | 1-1/3" CF | 是 | 否 |
162-1025C | 氣動軸向閥門 | 2-1/8" CF | 是 | 否 |
162-1040C | 氣動軸向閥門 | 2-3/4" CF | 是 | 否 |
162-1050C | 氣動軸向閥門 | 3-3/8" CF | 是 | 否 |
162-1063C | 氣動軸向閥門 | 4-1/2" CF | 是 | 否 |
162-1080C | 氣動軸向閥門 | 4-5/8" CF | 是 | 否 |
160 系列閥門（續）
帶有CF法蘭的160系列軸向閥門 氣動 帶電磁閥
163-0016C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 1-1/3"CF | 否 | 是 |
163-0025C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2-1/8" CF | 否 | 是 |
163-0040C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2-3/4" CF | 否 | 是 |
163-0050C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 3-3/8" CF | 否 | 是 |
163-0063C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 4-1/2" CF | 否 | 是 |
163-0080C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 4-5/8" CF | 否 | 是 |
帶有CF法蘭的160系列軸向閥門 氣動 帶電磁閥 和限位開關
163-1016C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 1-1/3" CF | 是 | 是 |
163-1025C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2-1/8"CF | 是 | 是 |
163-1040C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2-3/4" CF | 是 | 是 |
163-1050C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 3-3/8" CF | 是 | 是 |
163-1063C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 4-1/2"CF | 是 | 是 |
163-1080C-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 4-5/8" CF | 是 | 是 |
電磁閥
注：在確定帶電磁閥的氣動閥門零件編號時，請先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴展零件編號。
零件編號示例: 163-1160P-24VDC
電壓和頻率 | 24 VDC | 24 VAC 50-60 Hz | 208 VAC 50-60 Hz | 100-120 VAC 50 Hz; | 210-240 VAC 50 Hz; |
零件編號 | -24VDC | -24V/50-60 | -208V/50-60 | -120V/50-60 | - 220V/50-60 |
帶有焊樁的160系列軸向閥門
零件編號 | 描述 | 連接方式 | 限位開關 | 電磁閥 |
帶有焊樁的160系列軸向閥門 手動
161-0016T | 手動軸向閥門 | 0.75" | 否 | 否 |
161-0025T | 手動軸向閥門 | 1" | 否 | 否 |
161-0040T | 手動軸向閥門 | 1.5" | 否 | 否 |
161-0050T | 手動軸向閥門 | 2" | 否 | 否 |
161-0063T | 手動軸向閥門 | 2.5" | 否 | 否 |
161-0080T | 手動軸向閥門 | 3" | 否 | 否 |
帶有焊樁的160系列軸向閥門 氣動
162-0016T | 氣動軸向閥門 | 0.75" | 否 | 否 |
162-0025T | 氣動軸向閥門 | 1" | 否 | 否 |
162-0040T | 氣動軸向閥門 | 1.5" | 否 | 否 |
162-0050T | 氣動軸向閥門 | 2" | 否 | 否 |
162-0063T | 氣動軸向閥門 | 2.5" | 否 | 否 |
162-0080T | 氣動軸向閥門 | 3" | 否 | 否 |
160 系列閥門（續）
帶有焊樁的160系列軸向閥門 氣動 帶限位開關
162-1016T | 氣動軸向閥門 | 0.75" | 是 | 否 |
162-1025T | 氣動軸向閥門 | 1" | 是 | 否 |
162-1040T | 氣動軸向閥門 | 1.5" | 是 | 否 |
162-1050T | 氣動軸向閥門 | 2" | 是 | 否 |
162-1063T | 氣動軸向閥門 | 2.5" | 是 | 否 |
162-1080T | 氣動軸向閥門 | 3" | 是 | 否 |
帶有焊樁的160系列軸向閥門 氣動 帶電磁閥
163-0016T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 0.75" | 否 | 是 |
163-0025T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 1" | 否 | 是 |
163-0040T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 1.5" | 否 | 是 |
163-0050T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2" | 否 | 是 |
163-0063T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2.5" | 否 | 是 |
163-0080T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 3" | 否 | 是 |
帶有焊樁的160系列軸向閥門 氣動 帶電磁閥 和限位開關
163-1016T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 0.75" | 是 | 是 |
163-1025T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 1" | 是 | 是 |
163-1040T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 1.5" | 是 | 是 |
163-1050T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2" | 是 | 是 |
163-1063T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 2.5" | 是 | 是 |
163-1080T-XXXXX | 氣動軸向閥門 | 3" | 是 | 是 |
電磁閥
注：在確定帶電磁閥的氣動閥門零件編號時，請先選擇所需的電壓和頻率，隨后決定擴展零件編號。
真空閥門
零件編號示例: 163-1160P-24VDC
電壓和頻率 | 24 VDC | 24 VAC 50-60 Hz | 208 VAC 50-60 Hz | 100-120 VAC 50 Hz; | 210-240 VAC 50 Hz; |
零件編號 | -24VDC | -24V/50-60 | -208V/50-60 | -120V/50-60 | - 220V/50-60 |
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