Series 225系列 AUTO-SOFT®止流閥
HPS 225系列 AUTO-SOFT 是一個止流閥，在開始抽空時對低真空泵起節流作用。AUTO-SOFT能在系統開始抽空的瞬間迅速關閉，當達到一定設定的壓差時則會自動開啟，使整個真空管道線連通以達到實現抽真空過程的平衡。在半導體、薄膜以及其它產業中，AUTO-SOFT 可用來取代壓力控制的旁通閥門來提供抽真空的軟啟動。這種軟啟動過程降低了真空系統中的氣體湍流，使得系統內部的殘留顆粒不會被吹起，從而不會破壞整個工作過程。
AUTO-SOFT有一個位于離心軸的葉片，當壓差足夠小的時候，一對螺旋彈簧會使葉片打開，而當低真空泵進入運行狀態時，zui初抽氣氣流會關閉葉片，自動地對初級泵進行截流。
AUTO-SOFT有一個位于離心軸的葉片，當壓差足夠小的時候，一對螺旋彈簧會使葉片打開，而當低真空泵進入運行狀態時，zui初抽氣氣流會關閉葉片，自動地對初級泵進行截流。
| 零件編號 | 尺寸 | |
| 225-0040 | 225 系列Auto-Soft NW 40 | |
| 225-0050 | 225系列 Auto-Soft NW 50 | |
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。