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3. 智能掃描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

指標(biāo)：

探針的指標(biāo)主要分三個(gè)部分，分別對(duì)應(yīng)了基片，微懸臂梁，和針尖三個(gè)部分。

1. 基片，就是基片的長(zhǎng)，寬，高，各種探針的基片尺寸是基本一致的。

2. 懸臂梁，分為矩形梁和三角形懸臂梁，他們的長(zhǎng)寬厚的幾何尺寸決定了懸臂梁的彈性系數(shù)和共振頻率。而彈性常數(shù)K是探針的很重要的一個(gè)參數(shù)，一般來(lái)說(shuō)，接觸模式的探針的彈性常數(shù)小于1N/m。輕敲模式的探針的懸臂梁彈性系數(shù)從幾個(gè)N/m到幾十個(gè)N/m。常用的RTESP的彈性常數(shù)是40N/m。

3. 針尖，針尖的的幾何形狀是一個(gè)四面體。指標(biāo)主要有，曲率半徑(Tip Radius)，探針高度（Tip Height），對(duì)應(yīng)于四面體的指標(biāo)，前角（Front Angel），后角（Back Angel），側(cè)角（Side Angel），還有一個(gè)是Tip Set Back，對(duì)應(yīng)的是針尖離懸臂梁末端的水平距離。

材質(zhì)：

1. 輕敲探針：一般是單晶硅，型號(hào)如RTESP；

2. 接觸模式探針：材質(zhì)是SiN，而號(hào)的SNL接觸探針，懸臂梁是SiN，而針尖則Si（曲率半徑2nm左右），這種探針可以提供接觸模式下的分辨率圖；

3. 功能探針：如磁力探針（MESP），導(dǎo)電探針，則是在普通的硅探針的基礎(chǔ)上再鍍上相應(yīng)的材料。MESP的鍍層是Co/Cr，SCM-PIT的鍍層是Pt。

常用探針型號(hào)介紹：

常用探針型號(hào)介紹

1. 輕敲模式，RTESPA-300，TESP，F(xiàn)ESP

2. 接觸模式，SNL，NP，

3. 智能掃描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力顯微鏡，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 靜電力顯微鏡，導(dǎo)電AFM，等電學(xué)測(cè)量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6. 其他特殊功能探針。如金剛石探針，大長(zhǎng)徑比探針。