聚焦離子束（Xe）掃描電鏡 FERA
世界個集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3，提供了離子束束流（束流為2µA），其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時間或不可能進行的需要刻蝕的材料，F(xiàn)ERA3型儀器是一個不錯的選擇。
新一代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了新的技術優(yōu)勢，例如：改進的電子設備使圖像采集得速度更快，帶有靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術的速掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等。
FERA3的設計適應各種各樣的SEM應用與當今研究和產(chǎn)業(yè)的需求，其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為的分析工具。
現(xiàn)代電子光路
· 的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了許多工作與顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
· 結(jié)合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
· 全自動的電子光路設置與合軸
· 成像速度快
· 使用3維電子束技術可獲取實時立體圖像
· 三維導航
離子光路
· 的等離子i-FIB設備使切片和材料的刻蝕既快又
維修簡單
現(xiàn)在保持電鏡處在的狀態(tài)很簡單，只需要很短的停機時間。每個細節(jié)設計得很仔細，使得儀器的效率化，操作簡化。
自動操作
電鏡除了可以自動化設置外，還可進行聚焦、調(diào)節(jié)對比度/亮度等自動操作。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言（Python）可進入軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
· 用戶界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺，多用戶和多語言操作界面
· 同時的FIB/SEM成像，易于操作
· 實時圖像支持多窗口模式，可自定義實時圖像參數(shù)
· 圖像處理，報告生成，在線與離線圖像處理
· 項目管理軟件
· 內(nèi)置的自動診斷（自檢）
· TCP/IP遠程控制，網(wǎng)絡操作與遠程進入/診斷
· 免費升級軟件
聚焦離子束（Xe）掃描電鏡 FERA
FERA3 GM是一款由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
· 概述
· 軟件標配：
分析潛力
· 高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率、高電流和低噪聲的圖像
· 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取分辨率圖像
· 三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
· 結(jié)合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優(yōu)化
· 成像速度快
· 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可獲取高分辨率圖像 （選配）
· In-Beam背散射電子探頭，用于在小工作距離下得BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品
· 全計算機化優(yōu)中心電動載臺設計優(yōu)化了樣品操控
· 的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
· 由于使用了強力的渦淪分子泵和干式前置真空泵， 因而可以很快達到電鏡的工作真空，電子槍的真空由離子泵維持
· 自動的電子光路設置和合軸
· 網(wǎng)絡操作和內(nèi)置的遠程控制/診斷軟件
· 3維電子束技術提供實時立體圖像
· 在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa 用于觀測不導電樣品
· 的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應超低
· 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達驅(qū)動高重復性光闌轉(zhuǎn)換器
· 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
· 高束流下的銑削速度和的性能
· FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
· 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖像采集、存檔、處理和分析功能
聚焦離子束（Xe）掃描電鏡 FERA
FERA3 XM是一款由計算機全控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
· 概述
· 軟件
· 技術規(guī)格
· 配件
· 圖片
· 其他
分析潛力
· 高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率，高電流和低噪聲的圖像
· 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取分辨率圖像
· 三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
· 結(jié)合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優(yōu)化
· 成像速度快
· 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT）可獲取高分辨率圖像（選配）
· In-Beam背散射電子探頭，用于在小工作距離下得BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品
· 全計算機化優(yōu)中心電動載臺設計優(yōu)化了樣品操控
· 的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
· 由于使用了強力的渦淪分子泵和干式前置真空泵，因而可以很快達到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。
· 自動的電子光路設置和合軸
· 網(wǎng)絡操作和內(nèi)置的遠程控制/診斷軟件
· 3維電子束技術提供實時立體圖像
· 低真空模式下樣品室真空可達到500Pa用于觀測不導電樣品
· 的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應超低
· 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達驅(qū)動高重復性光闌轉(zhuǎn)換器
· 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
· 高束流下的銑削速度和的性能
· FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
· 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖像采集、存檔、處理和分析功
北京亞科晨旭科技有限公司
亞科電子成立于 1998 年，成立以來一直專注于半導體工藝設備、微納米加工平臺等領域的設備集成供應和技術服務。MEMS、3D 封裝、化合物半導體、微波器件、功率器件等眾多領域。目前亞科電子已經(jīng)與眾多微電子、半導體設備行業(yè)的國際企業(yè)建立了良好的合作關系；EVG（光刻、鍵合）、Bruker（微納檢測）、TESCAN（掃描電鏡） 是其中幾家重要的合作伙伴。用戶已遍及所有國內(nèi)集團、科研院所和研發(fā)制造企業(yè)等領域，在業(yè)內(nèi)擁有良好的。我公司已成為、中國航天、中國航空、中國船舶、中國兵器集團、和高校等所屬的眾多科研單位及工廠的重要的合作伙伴。
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