亚洲精品无码一区二区三区久久久,长春欧亚卖场是哪个区,美熟女一区二区三区,亚洲中文字幕无码一区二区三区 ,欧美人与动牲交zooz男人,日本黄h兄妹h动漫一区二区三区,亚洲国产综合久久天堂,四虎成人影视免费在线站长,小黄片午夜视频在线播放,久久久日韩精品一区二区三区

手套箱蒸發鍍膜機聯合系統技術參數

1. 鍍膜室：尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不銹鋼制作，方箱式，配有前、后門，前門水平滑開式，后門為側開門；鍍膜室配置獨立機架，可在脫離手套箱條件下單獨調試和使用，與手套箱之間通過鍍膜室前門框密封連接

2. 手套箱：提供器件構筑的無水無氧環境

   標準單面雙工位手套箱

   箱體尺寸長≥2400 mm，寬（深）≥750 mm，高≥900 mm，箱體材質為304不銹鋼，厚度≥3mm

   透明安全鋼化玻璃視窗（前面），厚度≥8mm；手套口均為高品質鋁合金

   四只丁基橡膠手套

   真空泵，抽速≥12 m3/h

   配備進口氧分析儀（測量范圍：0-1000 ppm，精度 ppm）和進口水分析儀

   配備冷阱，銅觸媒≥ 5 kg，分子篩≥5 kg

   2. 8 配備有機溶劑去除系統

   2. 9 水氧指標≤1 ppm

   0 泄漏率<%/h

   1高性能循環風機和控制柜

3. 復合分子泵+直聯旋片泵+高真空插板閥高真空系統，“兩低一高"數顯復合真空計；

   極限真空：優于×10-5Pa；(設備和手套箱分體，設備空載抽真空24小時)

   抽速：從大氣抽至×10-4Pa≤40min；

   設備升壓率：≤/h；

4. 設備保壓：停泵12小時候后，設備真空度≤10Pa；

5. 基片臺：抽屜式結構，承載小于120×120mm基片；配有氣動基片臺擋板；基片臺電機驅動，旋轉速度0～20轉/分鐘可調；手動升降，升降基片臺可調節范圍70mm；定制符合要求的掩膜板1套；

6. 基片臺加熱：加熱溫度：300℃，PID智能溫控閉環控制；

7. 蒸發源：金屬源：水冷銅電極2套；逆變式蒸發電源：功率3kW；2臺（1臺電源可切換不同蒸發源）；有機源：2套；蒸發源配氣動擋板及源間防污隔板；

8. 膜厚控制系統：晶振膜厚儀在線監測、控制終厚；單探頭，配備原裝晶振片一盒

9. 控制方式：采用PLC+觸摸屏半自動控制；

10. 報警及保護：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施；完善的邏輯程序互鎖保護系統；