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沈陽科晶自動化設備有限公司

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沈陽科晶自動化設備有限公司
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混氣系統4路質子GSL-4Z

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:GSL-4Z
  • 品牌:
  • 產品類別:氣體發生器
  • 所在地:沈陽市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2022-07-29 14:57:20
  • 瀏覽次數:3
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沈陽科晶自動化設備有限公司

生產廠家

  • 經營模式:生產廠家
  • 商鋪產品:582條
  • 所在地區:遼寧沈陽市
  • 注冊時間:2022-06-08
  • 最近登錄:2022-07-30
  • 聯系人:鄭、張先生
  • 電    話:18624331856
產品簡介

混氣系統4路質子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架內,管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥,可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響,在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,廣泛應用于電子工藝設備,如擴散、氧化、外延

詳情介紹

 

產品型號

  混氣系統4路質子GSL-4Z

主要特點

  精度高,運行穩定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術參數

  1、電源:185-245V  50Hz

  2、zui大輸出功率:18W

  3控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、

                            控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

  4、zui大壓力:3×106  Pa

  5、準確度:±1%FS

  6、線性:±0.5-1.5%

  7、重復精度:±0.2%FS

  8、響應時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

  9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

  10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

  11、混氣罐:Φ80mm×120mm

  12、截止閥:Φ1/4″316不銹鋼針閥

  13、工作溫度:5-45

產品規格

  尺寸:600mm×600mm×650mm

 

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