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產品名稱

TF200薄膜厚度測量系統

產品型號

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

主要特點

快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

應用領域

半導體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠ITO等）

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）

醫學（聚對二甲苯涂層球囊/壁厚藥膜等） 

波長范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準確度（取決于材料0.4%或2nm之間取較大者）

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸（可選微光斑附件。）

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線

是

是

是

是

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

XY可選