GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理（二極濺射鍍膜是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng)，使得靶材原子或分子從固體表面射出，在基片上沉積形成薄膜的過程。屬于物理氣相沉積（PVD）制備薄膜技術(shù)的一種。）設(shè)計(jì)而成的簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀可用于實(shí)驗(yàn)室制備掃描電鏡樣品使用，且設(shè)備體積小巧，節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間；操作簡單，適合初學(xué)人員使用。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 | ||
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-SPC-16M | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得好的鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。 6、濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層。 7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺(tái)。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、靶：Ø50mm 2、真空室：Ø160mm×120mm 3、真空度：≤4×10-2mbar 4、max電流：50mA（可選100mA） 5、可設(shè)定極限時(shí)間：9999s 6、微型真空氣閥：連接Ø3mm軟管 7、極限電壓：1600V DC 8、機(jī)械泵：2L/s | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：360mm×300mm×380mm | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
2 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
3 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
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