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產(chǎn)品型號(hào)

SE-VM光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)

2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

3、支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應(yīng)用場(chǎng)景支持多功能模塊化定制

4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動(dòng)化程度：手動(dòng)變角

2、應(yīng)用定位：通用型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

4、分析光譜380-1000nm(可擴(kuò)至210-1650nm)

5、單次測(cè)量時(shí)間：0.5-5s

6、重復(fù)性測(cè)量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm

8、入射角調(diào)節(jié)方式：手動(dòng)變角

9、入射角范圍：55-75°(5°步進(jìn)),90°

10、找焦方式：手動(dòng)找焦

11、Mapping行程：不支持

12、支持樣件尺寸：大至180mm

可選配件

1

溫控臺(tái)

2

Mapping擴(kuò)展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件