大型晶圓探針臺(tái)600LS是專業(yè)為300mm晶圓測(cè)試設(shè)計(jì)的大尺寸晶圓測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng),廣泛用于6''晶圓,8''晶圓和12''晶圓探針測(cè)試應(yīng)用。
晶圓夾盤(pán)拉出特色
方便而安全的晶圓更換功能
對(duì)于12英寸晶圓也可無(wú)障礙更換
包含人體工程學(xué)把手設(shè)計(jì)，帶有可重復(fù)觸發(fā)的釋放/鎖止功能
采用重型精密滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)
雙Z軸氣體沖擊輔助機(jī)械壓盤(pán)升降系統(tǒng)
顯微鏡升降延遲可調(diào)offset
裝卸晶圓過(guò)程中,避免探針卡和探針對(duì)顯微鏡物鏡造成干擾

壓盤(pán)制冷
空氣制冷,減少探針漂移

集成減震臺(tái)降低振動(dòng)影響,帶有可調(diào)滾輪和操縱桿支架
高分辨率電機(jī)驅(qū)動(dòng):310mm XY位移臺(tái)驅(qū)動(dòng)具有亞微米分辨率
操縱桿控制
    雙速預(yù)操作控制XY或Z軸
    可停止操縱桿控制
    快速按下功能方便操作
操縱桿控制
    雙速預(yù)操作控制XY或Z軸
    可停止操縱桿控制
    快速按下高速按鈕功能方便操作，XY或Z轉(zhuǎn)換時(shí),自動(dòng)提高位移速度.
Theta角度控制30度手動(dòng)分辨率，可根據(jù)用戶要求選配電動(dòng)控制
顯示器平臺(tái)-方便觀看,不遮擋觀看
模塊化設(shè)計(jì)平臺(tái)-可根據(jù)探針的改變而升級(jí)，多種探診臺(tái)附件和升級(jí)辦法供用戶選擇
探針卡支架-優(yōu)化設(shè)計(jì)，適合4.5英寸寬度探針卡
 
晶圓探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)600LS
顯微鏡位移
X-Y操縱桿驅(qū)動(dòng),50.8mm x 50.8mm（2” x 2”) ，可選升級(jí)到203mm x 203mm (8”X 8”)
聚焦 (Z)軸旋鈕驅(qū)動(dòng)，50.8mm (2”) 標(biāo)準(zhǔn)配置; 可選配升級(jí)到100mm (4”) 帶有粗調(diào)/微調(diào)聚焦旋鈕
顯微鏡升降延遲：可調(diào)節(jié)，根據(jù)壓板Z的功能提升顯微鏡，以防止損壞探針卡和探針
支持的顯微鏡：QIOPTIQ A-Zoom     Meiji stereo-Zoom   USMCO, Motec&Seiwa顯微鏡
 
位移臺(tái)/晶圓卡盤(pán)X-Y-Theta位移
X-Y操縱桿驅(qū)動(dòng),310mm x 310mm
Theta角旋轉(zhuǎn)：手動(dòng)控制+/-15度。（可選600-EVS-12SS卡盤(pán)，采用300mm不銹鋼表面，可選真空環(huán)用于4英寸，6英寸，8英寸，12英寸晶圓，平整度+/-12微米。）
 
晶圓卡盤(pán)-裝載/卸載
12英寸滑行行程，便于輕松裝卸晶圓;符合人體工程學(xué)的手柄設(shè)計(jì)，具有可重復(fù)的機(jī)械觸發(fā)釋放/鎖定功能和重型精密軸承導(dǎo)軌
壓板Platen：大面積可容納10個(gè)或更多的機(jī)械手，專為高溫測(cè)試所需的風(fēng)冷而設(shè)計(jì)。 磁性不銹鋼表面，穩(wěn)定的四點(diǎn)絲杠驅(qū)動(dòng)。包括兩個(gè)可定位的真空歧管。
 
Z軸微調(diào)提升和降低-真實(shí)平面垂直運(yùn)動(dòng)，亞微米精度
Z軸行程：50.8mm (2’’)
Z軸快速提升控制：帶有鎖定Zup位置的Quickplaten升降機(jī)，可快速清理工作區(qū)域。升降行程：50.8mm（2”）
 
Joystick操縱桿
大型便捷操縱桿具有高/低速控制按鈕位于頂部，旋轉(zhuǎn)的操縱桿手柄控制壓板Z，智能電動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制（順時(shí)針：壓板向下，逆時(shí)針：壓板向上）。位移臺(tái)X-Y啟用-暫停功能將位移臺(tái)鎖止在所需位置。對(duì)齊啟用-停止功能可以鎖止Y軸,以便晶圓可以在X軸上對(duì)齊而不會(huì)意外移動(dòng)Y軸。
探針卡支架-適合標(biāo)準(zhǔn)4.5‘’探針卡（其它規(guī)格可按用戶要求提供）
尺寸重量：38” (96cm) D x 48” (122cm) W x 55” (140cm) H   凈重181Kg
外觀處理：發(fā)黑氧化鋁，不銹鋼涂粉工藝