這款低溫探針臺系統提供近液氮溫度77K情況下電子安靜的高靈敏度電容和電流測量功能,它采用電子防護罩確保電子安靜且控制環境操作。
低溫探針臺比C-V特性測試儀更為適用于摻雜分布測試和電容-電壓測試,也適合其它低溫測量應用,比如界面陷阱密度測定或電流電壓試驗。
低溫探針臺特點
液氮制冷樣品卡盤
封閉型dewar確保低噪音測量
dewar可通過干氮制冷
探針定位器位于dewar外部,方便調整
低溫探針臺安裝要求
電源:220V AC
制冷:低壓液氮制冷
凈化:干氮,大壓力2PSI(0.15kg/cm^2)
真空:過程真空,5-15‘’(100-400mm)Hg
熱電偶:E型
溫度范圍:-200~40攝氏度











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