零件內表面粗糙度、缺陷、形貌測量儀產品特性
√ 任意凹型或凸型物體表面/層的非接觸光學檢測
√ 可檢測金屬表面的任意形狀和微缺陷，而對非金屬表面可進行亞表面層分析
√ 亞微米精度測試結果不受表面質量的影響，表面可為拋光至很粗糙（平均獲得）
√ 易附加三維坐標的測量系統
√ 的侵入式探針傳感器可以輕松地進入樣品內部探測內表面，這是其他輪廓儀所不具備的
零件內表面粗糙度、缺陷、形貌測量儀產品規格
√ zui大獲得速率：16kHz
√ 工作距離（fix）：0.4--15mm
√ 光斑尺寸（model 80/300）：5um
√ zui細探針直徑：0.6mm
√ 重復性（在1kHz獲取速率下）：+/-0.25um
√ 靜態精度（在0.1kHz獲取速率下）：+/-0.05um
√ zui大移動速度：60mm/s
√ 測試波長（model 80/300）：830/1300nm
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