ATS150 機械軸承，絲杠驅動線性平臺

ATS150 系列滾珠絲杠驅動的線性載物臺提供半導體晶圓測試和制造、自動顯微鏡檢測系統和精密微加工應用所需的高分辨率和可重復性，并可選擇配置直接線性編碼器以提高精度。

設計特點
長壽命直線運動導軌軸承系統
超精細分辨率
整體式波紋管路蓋
薄型緊湊型設計
亞微米級精度
可選高精度線性編碼器

結構特點
ATS150 系列載物臺由特殊的鑄造鋁合金加工而成，具有高強度重量比和長期穩定性。底座采用箱形設計，可提供出色的剛度和穩定性。

ATS150 系列載物臺采用預加載的精密研磨滾珠絲杠以消除齒隙，其螺母具有雨刮器，可防止污染并在載物臺的整個使用壽命期間保持高精度。高品質、預加載的雙聯軸承用于消除軸向游隙。

所有 ATS150 系列載物臺均采用直線運動導軌 （LMG） 軸承，以提供高負載能力和高剛度。LMG 設計提供了一個緊湊的載物臺，在整個行程中具有連續的滑塊支撐和良好的懸臂負載能力。軸承卡車上的整體雨刷器有助于確保載物臺行駛壽命。高精度光學限位開關和終端停止也是標準配置。

整體式波紋管式路蓋可保護驅動和軸承系統免受污染。金屬表面采用有吸引力的透明陽極氧化表面保護。公制（標準）和英制安裝和螺栓孔模式均可用。

線性編碼器
精密非接觸式線性編碼器是一種選擇。編碼器安裝在載物臺內部，可保護其免受外部污染物和碎屑的侵害。

電機和驅動器
所有 ATS150 系列載物臺均包含 Aerotech 的 BMS 系列無刷旋轉電機。該電機具有無刷電機的所有優點 - 高加速度，無刷磨損和更低的加熱 - 但齒槽零，可實現極其平穩的運動和準確性。Aerotech制造各種匹配的驅動器和控制裝置，以提供集成和優化的運動解決方案。