ANT95LZ單軸Z納米定位平臺
我們的第二代ANT95LZ位移臺經過專門設計,可在垂直方向上提供納米級的運動和定位性能。用戶可調節的超低摩擦氣動平衡塊使它們在結合分辨率、精確度、可重復性、尺寸和可靠性方面成為同類。它們令人印象深刻的動態能力和增強的承載能力使ANT95LZ位移臺成為您需要垂直運動時的選擇。
設計特點
?增強型第二代設計
?實現1 nm的最小增量運動-新的
?在長達50毫米的行程范圍內提供納米級定位性能
?通過用戶可調節的超低摩擦平衡力,可在垂直方向上抵消高達5千克的有效載荷,實現精確的性能
?采用高精度交叉滾子軸承,具有出色的動態性能和巨大的負載能力
?利用無鐵芯直接驅動直線電機限度地提高生產能力和可靠性
關鍵應用
ANT95LZ非常適合要求高精度和動態定位性能的多軸應用,包括:
?光子組裝和檢測
?光纖對齊和優化
?光學制造、測試和檢驗
?傳感器測試和認證
?半導體加工與檢驗
?研究和實驗室應用
行業的運動性能
出色的精度、位置可重復性和在位穩定性要求的系統分辨率。ANT95LZ現在提供改進的高性能編碼器選項,可以輕松實現1 nm的最小位移增量。我們的直接驅動技術沒有滯后或反沖,能夠實現精確和可重復的納米級運動。此外,影響最小的配重設計可抵抗有效負載產生的重力,從而實現行業的性能和的熱穩定性。
非接觸式直接驅動
只有非接觸式直接驅動技術能夠提供大規模生產精密設備所需的穩健、精確和高速定位。ANT95LZ位移臺使用我們*的直接驅動技術來實現的定位性能。這種直接驅動技術提供了超平滑、一致的運動和出色的動態特性,以優化您的加工處理量。的驅動器和軸承組合封裝在極其緊湊的外形中,在許多應用中提供了切實的優勢,例如高精度定位、光纖對準、光學制造和檢測、傳感器測試和掃描過程,這些應用需要平穩和精確的運動。
靈活的系統設計
ANT95LZ系列具有通用安裝和臺面安裝孔,便于系統集成。兩個、三個或更多軸可以很容易地結合起來,以實現靈活的系統設計和多軸配置。ANT95LZ平臺還提供更低的雙平衡結構,可與其他產品(包括ANT95L、ANT95XY、ANT95R、ANT95V、ANT20G等)輕松結合,以實現復雜的多自由度運動和定位解決方案。















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