Aerotech QNP系列壓電納米定位平臺

關(guān)鍵詞：納米定位平臺/壓電平臺/壓電納米定位臺


QNP系列壓電納米定位平臺以緊湊，高剛度的封裝提供納米級的性能。多種行程（100μm至600μm）和反饋選項使其成為從顯微鏡到光學對準的應(yīng)用的理想解決方案。

緊湊包裝中的高質(zhì)量

QNP壓電平臺受撓曲的指導，該撓曲使用有限元分析進行了優(yōu)化，以確保高剛度和較長的設(shè)備壽命。終的設(shè)計提供了剛度和諧振頻率，從而實現(xiàn)了高處理量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。此外，集成的XY封裝程度地減少了平臺堆疊高度和移動質(zhì)量，從而實現(xiàn)了靜態(tài)和動態(tài)多軸性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP壓電級均采用的電容傳感器設(shè)計，提供閉環(huán)反饋選項，可實現(xiàn)亞納米分辨率和高線性度。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出，從而實現(xiàn)精度和可重復性。

超控制

與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動器配合使用時，QNP壓電納米定位臺具有亞納米級的定位分辨率和就位穩(wěn)定性（抖動）以及高定位帶寬。

QNP壓電級可提供電容傳感器反饋或無反饋（開環(huán)）。對于需要緊湊的尺寸，高動態(tài)特性和亞納米級定位分辨率，但又不需要定位精度和可重復性的應(yīng)用，開環(huán)提供了一種

QNP-Z壓電納米定位平臺可提供電容傳感器反饋或無反饋（開環(huán)）。對于需要緊湊的尺寸，高動態(tài)特性和亞納米級定位分辨率，但又不需要定位精度和可重復性的應(yīng)用，開環(huán)提供了一種經(jīng)濟高效的選擇。在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統(tǒng)，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環(huán)設(shè)計。

可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學平臺上。QNP系列還包括-L和-XY位移臺，其中公共行程與轉(zhuǎn)接板一起安裝。

機械規(guī)格（1）