ANT95XY雙軸XY納米定位級
我們的第二代超緊湊型ANT95XY載物臺采用集成的雙軸設計，可提供的平面性能和出色的幾何特性。ANT95XY載物臺配備高剛度交叉滾子軸承、高分辨率位置反饋和無鐵芯直線電機，可實現同類產品中最平穩、確的運動，可通過超高精度2D校準進一步增強，以優化您的高精度檢測或制造工藝。

設計特點
增強的第二代設計
實現最小增量運動至 0.5 nm - 新
通過集成的 XY 設計優化正交性、直線度和平整度
通過 ULTRA 校準選件保證 ±250 nm 或更高的二維精度
采用高精度交叉滾子軸承，具有出色的動態性能和慷慨的負載能力
通過無鐵芯直驅直線電機限度地提高過程吞吐量和可靠性
主要應用
ANT95XY非常適合需要高精度和動態定位性能的多軸應用，包括：

光子學組裝和檢查
光纖對準和優化
光學制造、測試和檢驗
傳感器測試和認證
半導體加工和檢測
研究和實驗室應用

超精密載物臺設計
ANT95XY的集成雙軸設計允許您優化關鍵幾何元素，如正交性，直線度和平整度，從而產生具有出色運動特性的載物臺。我們的直接驅動技術沒有滯后或間隙，可在 X 和 Y 尺寸上實現精確且可重復的納米級運動。兩種行程選項（25 mm x 25 mm 和 50 mm x 50 mm）均配備 60 mm 型材高度。集成電纜管理系統專為長壽命和最小的阻力而設計。

非接觸式直接驅動
只有非接觸式直接驅動技術才能提供大規模生產精密設備所需的堅固、準確和高速定位。ANT95XY載物臺利用我們*的直驅技術來實現的定位性能。這種直接驅動技術可提供超平穩、一致的運動，并具有出色的動態特性，以優化您的過程吞吐量。的驅動和軸承組合采用極其緊湊的外形尺寸封裝，在許多應用中提供了切實的優勢，例如高精度定位、光纖對準、光學制造和檢測、傳感器測試和掃描過程，這些都需要平穩和精確的運動。

靈活的系統設計
ANT95XY系列具有通用安裝和桌面模式，可輕松進行系統集成。ANT95XY載物臺可輕松與其他產品（包括ANT95LZ、ANT95LZS、ANT95R、ANT95V、ANT20G等）結合使用，以實現復雜、多自由度的運動和定位解決方案。

超高性能等級選項
為了從我們的多軸納米定位系統獲得的系統精度，我們開發了一種*的動態軌跡校準系統。為了利用這種復雜的校準系統，機械系統在我們的計量實驗室中進行了組裝、功能測試和校準。納米級系統精度只能在嚴格的環境條件下實現，這些條件確保使用測試設備進行校準，使用我們行業的控制器的精度機械元件和ULTRA軟件功能。通過使用ANT95XY實現ULTRA動態軌跡校準，我們能夠產生±250 nm或更好的保證二維精度。

規格中提供的曲線說明了標準 ANT95XY 與 ULTRA 版本之間的性能差異。ULTRA 校準幾乎消除了偏航引起的直線度、正交性和精度誤差。