PlanarDL 兩軸，機械軸承，直驅線性載物臺
我們的平面斷續器-系列載物臺在緊湊、薄型的封裝中提供出色的幾何和動態性能。各種行程和性能選項使該級非常適合從表面輪廓測量到LED晶圓劃線的各種應用。

設計特點
集成式、薄型、XY、直線電機載物臺
出色的幾何性能（直線度可達 ±0.4 μm;平坦度可達 ±1 μm）
抗蠕變、精密交叉滾子軸承
多種選擇 – 行程和精度方面有九種型號
高級舞臺設計
平面斷續器XY 設計可在直線度和運動平坦度至關重要的應用中實現行業的平面幾何性能。高精度抗蠕變交叉滾子軸承、精密加工表面和 Aerotech 直線電機通過軸的剛度中心驅動，使定位階段具有出色的幾何公差。

平面斷續器結構元件針對高動態和高剛度進行了優化，適用于的動態應用。能夠實現 1 m/s 的速度和 1.5 g 的加速度，平面斷續器可實現高通量、高精度加工，從而實現的工藝良率和較低的總擁有成本。與使用再循環軸承的競爭產品不同，此設計中使用的抗蠕變交叉滾子軸承允許平穩運動，使其成為具有挑戰性的掃描應用的理想載物臺解決方案。

非接觸式直接驅動技術
只有非接觸式直接驅動技術才能提供高速和準確的定位，以及免維護操作和長使用壽命。位于平面的核心斷續器是 Aerotech 專有的直接驅動技術。與其他競爭性基于螺桿和直線電機的設計相比，這種驅動技術具有的性能。

平面斷續器-200XY和-300XY載物臺均提供每軸一個或兩個電機，允許針對特定應用和過程優化每個單獨的軸。無論選擇多少電機，產生的驅動力都會穿過摩擦和剛度中心，從而實現的幾何性能和精度。

集成電纜管理
平面上的電纜管理系統斷續器集成在載物臺上，并針對較長的使用壽命和性能進行了優化。額外的標準選件可用于額外的伺服軸或真空/真空管路，用于真空卡盤或其他過程氣動裝置。

定位性能
平面斷續器提供三種定位性能選項。憑借數十年的系統級設計經驗，不僅包括定位機械，還包括軟件和電子，Aerotech開發了*的技術來推動精度的發展。提供高性能 -PLUS 和 -ULTRA 選項，可實現低至 ±400 nm 的精度和直線度值，以及低至 1 弧秒的正交性。