產品概述
1、結構：
* NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結構）為整個系統提供更好的剛性和韌性
*高品質無縫制造表面，全工程塑料
*適用于通風柜和雜物箱
*處理室直徑：202毫米

2、數字電機控制：
*具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋

3、透明蓋：
淬火的透明玻璃瓶蓋，帶有注射器支架和N2擴散器，可在處理過程中進行N2吹掃

4、安全聯鎖：
*Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開
*電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉，而真空聯鎖（可編程）在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉
*防止傷害使用者并避免基材破裂

5、連接：
*三個可編程繼電器輸出，可用于操作自動分配系統，外部閥或其他附件。
*多種夾頭可供選擇，用于直徑為160 mm的不同尺寸的基板
*制氮過程中的氮氣擴散器