產品概述
憑借其可配置的大容量腔室，手動加載的EcoCoat硅烷氣相沉積系統旨在滿足您的工藝開發和批量生產要求。 三條獨立的蒸汽輸送管線，出色的熱均勻性和原位氣體等離子體為系統提供了工藝靈活性，同時為晶圓，載玻片或熱塑性表面保持了優異的硅烷單層沉積均勻性。

?表面改性以促進/防止粘附

?用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜

?生物分子與玻璃，塑料或硅的共價鍵合

?等離子清潔和活化表面，控制疏水性

靈活的化學蒸汽輸送系統可與多種有機硅烷兼容。 可以使用小型測試瓶或大型安瓿瓶，從而實現從研究到低成本的大批量生產的過渡。 三個獨立的蒸汽輸送管線可容納多種前體或水，以實現表面水合，從而實現的硅烷與底物的結合。 集成的等離子體功能通過三個獨立的MFC控制的過程氣體輸入來實現。 靈活的腔室擱板/電極允許從晶片（200/300 mm）到載玻片和3D熱塑設備使用各種各樣的基板形狀因子。