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一、         簡介

Axia ChemiSEM 傳承于前 FEI 出品的 Quanta SEM 系列，其易用性、性能和靈活性更上一層樓。

Axia ChemiSEM 與傳統的 SEM 不同，它始終在后臺收集 EDS 數據。它使用的算法同時處理SEM和EDS信號，從而可以實時顯示樣品的形態和定量元素組成。它在后臺持續處理 EDS 數據、實時提供更新的元素數據。樣品中發現的元素可以被打開和關閉，以便您分離目標區域。

Axia ChemiSEM 通過自動化增強了用戶體驗，例如 實現無對準操作的 SmartAlign 技術、新開發的自動功能和現場定量 EDS 繪圖。與傳統方法相比、這種始終在線的處理方式使分析速度提高一倍。Axia ChemiSEM 掃描電子顯微鏡能夠普及 SEM/EDS 分析，加速工作流程和節省培訓時間。低真空技術可以為各類不導電樣品提供出色的成像。

二、         主要功能

性能數據

分辨率：

? 高真空模式

– 3.0nm@30kV (SE)

– 4.0 nm @ 30 kV (BSE)*

– 8.0nm@3kV (SE)

? 低真空模式

– 3.0nm@30kV (SE) ? 探針束流范圍： 2 μA，連續可調
 加速電壓范圍：200 V – 30 kV
放大倍數：5 到 1,000,000× (Polaroid)

腔室內寬：280 mm

端口：采用 BSED 和 EDS 配置的 Axia ChemiSEM 掃描電子顯微鏡提供 5 個可用端口

樣品重量：10 kg

三、         應用

用于過程控制、故障分析和基礎材料研究，滿足各個領域的研究