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一、簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體芯片制造工藝需要在千級(jí)/百級(jí)無塵室內(nèi)進(jìn)行，F(xiàn)AB無塵室中空氣中顆粒數(shù)量需要管控。KC-51為手持式式氣體顆粒計(jì)數(shù)儀，具有成本低，操作簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。

二、KC-51主要技術(shù)參數(shù)
測(cè)試原理：光散射法

測(cè)量最小粒徑：0.3µm
用戶可選通道：

3 channels: 0.3m, 0.5m, 5m (Default setting)

2 channels: 0.3m, 0.5m

2 channels: 0.5m, 5.0m

（KC-52為5 channels: ≥0.3µm, ≥0.5µm, ≥1.0µm, ≥2.0µm, ≥5.0µm）
液體流速: 2.83L / min
顆粒濃度：140 000 000 particles/m3 (coincidence loss 10%)